实现超高纯铝及其合金镀膜材料国产化

随着电子信息产品市场的快速发展以及各行业信息化建设的持续深入，高性能芯片、新型显示等电子器件市场广阔。薄膜材料是电子器件制造的关键支撑，其中铝薄膜由于具有电阻率较低、易沉积、易刻蚀、工艺成熟等优点，成为集成电路、分立器件、液晶显示等领域的关键材料。制备铝薄膜用的超高纯铝镀膜材料主要包括蒸发材料和溅射靶材等，它们是随着我国电子信息产业的发展而兴起的铝材高端应用领域。


    早期超高纯铝及铝合金蒸发材料和靶材的生产企业主要集中在美国、日本和法国等地，中国研发起步较晚。我国是全球能够生产超高纯铝的国家之一，但是在超高纯铝材料的纯度与合金种类、超高纯铝薄膜材料应用于电子信息行业开发和应用方面，国内公司与国际知名公司有差距，产能也不能满足国内市场。


    我国是世界最大的电解铝冶炼初加工生产基地，铝及铝合金材料与加工行业普遍面临产能过剩、产品结构不合理、产业技术支撑尚显不足等问题，制约了全行业的良性循环发展，本项目涉及的电子信息用超高纯铝及其合金蒸发材料和靶材是电子信息行业的关键基础材料之一，符合有色金属工业中长期科技发展规划的要求，也符合新材料产业“十二五”发展规划要求，是传统有色金属工业转型升级、开发高附加值深加工产品的重要示范。


    有研亿金新材料有限公司联合北京有色金属研究总院，在国家863计划重点项目、北京市有关部门科技计划项目以及企业自主研发项目的资助下，建立了超高纯铝及其合金镀膜材料制备成套加工技术体系，实现了电子信息领域超高纯铝蒸发材料、半导体用铝及其合金靶材、平板显示用大尺寸铝靶材等全系列镀膜材料的开发及产业化。


    此外，公司积极开展国内外市场开拓，根据市场需求，进行超高纯铝材料相关的新技术、新产品开发。项目旨在建立完整的高性能超高纯铝及其合金镀膜材料制备加工技术体系，实现了电子信息领域超高纯铝蒸发材料、半导体用铝及其合金靶材等全系列镀膜材料的开发及产业化。


    “电子信息用超高纯铝及其合金镀膜材料的关键技术开发及产业化”项目为促进我国实现超高纯铝及其合金镀膜材料国产化和本地化供应提供有力的技术支撑。


    超高纯铝镀膜材料的研制包括超高纯铝及其合金蒸发材料和溅射靶材成套技术开发及应用。要求产品性能指标满足电子信息应用领域严格的镀膜要求，通过客户的应用认证实现批量生产，质量稳定、性能可靠并达到国际同类产品标准。


    产品研制开发需要在超高纯金属的铸造成型、塑性变形加工、热处理、连接成形、精密制造加工、分析测试技术及结构优化设计等方面实现技术突破再进行综合集成。


    有研亿金新材料有限公司依托北京有色金属研究总院在有色金属材料领域的综合优势，从小尺寸的铝蒸发材料研发起步，到4~6”小尺寸半导体用溅射靶材、8~12”大尺寸半导体用溅射靶材，再到高代线大尺寸平板显示用溅射靶材的研制，历经10年时间，实现了超高纯铝镀膜材料全面技术突破，开发出超高纯新型铝合金制备技术、超高纯铝蒸发材料高效短流程洁净制造技术、超高纯铝及其合金靶材微观组织精细调控技术、超高纯铝及其合金靶材与背板的高可靠连接技术、高利用率靶材结构优化设计等关键技术，在产品性能达标的同时解决了大尺寸靶材工程化实施难题。


    通过项目的实施，发表文章21篇，制定铝靶材和蒸发料相关国家/行业标准4项，获得北京市自主创新产品认定1项、北京市新技术新产品认定1项，北京市高新技术成果转化1项。项目验收及专家评价阶段，国家863计划重点项目和北京市有关部门科技计划重大项目均通过考核指标，并给与了高度的评价，一致通过验收。科学技术成果评价该项目技术经济指标先进，经济、社会效益显著，项目总体达到国内领先、国际先进水平。


    有研亿金新材料有限公司技术实力雄厚，汇聚薄膜材料领域内众多一流的科研生产精英，专业技术人才超过员工总数50%，高学历、高职称人才比例高达40%，同时拥有一支技术过硬经验丰富的技术工人队伍。通过与电子信息市场高端客户合作完成了各种产品的考核验证，薄膜性能达到国际同等水平，最终实现了超高纯铝蒸发材料、靶材的规模化生产线建设及生产质量控制体系建设。


超高纯铝镀膜材料在国内绝大部分半导体企业和重要面板企业都实现批量稳定销售。


    本项目已经形成具有我国自主知识产权的高端超高纯铝及其合金制品加工制造技术并建立相关产业，加速高端高纯薄膜材料以面带动整体的全方位发展效应，极大地促进传统有色金属工业的深加工和产业延伸技术的提升，并完善我国先进的电子信息制造业及其配套产品的供应链。


    多年来，有研亿金新材料有限公司致力于超高纯镀膜材料的国产化和本地化供应，积极努力打造国产镀膜材料品牌，在我国电子信息制造产业的发展过程中贡献力量。